반도체는 이른바 8대공정이라고 불리는 수많은 공정을 반복적으로 거치는데 초순수는 실제 반도체 공정에서 수많은 공정 전후에 진행되는 세정 작업에 주로 사용된다. 웨이퍼 연마나 웨이퍼 절단 시에도 초순수를 사용한다.
환경부는 한국환경산업기술원, 사단법인 한국물포럼과 함께 26일 경기 과천 소재 한국수자원공사 한강유역본부에서 반도체 초순수 국산화를 위한 협의체 첫 회의를 개최한다고 25일 밝혔다.
이영기 환경부 물관리정책실장, 곽결호 한국물포럼 총재, 정경윤 한국수자원공사 기획이사, 김경호 한국환경산업 기술원 본부장을 비롯해 정부, 공공기관, 학계 및 산업계 관계자 등이 참석한다.
환경부는 지난 7월29일 열린 '제13차 혁신성장 빅(BIG)3 추진회의'의 중점 추진과제 중 하나인 '반도체 초순수 생산 국산화 기술개발(2021년~2025년)'과 관련, 추진 과정의 협력과 활성화 방안 등을 논의하기 위해 이번 회의를 마련했다.
초순수란 일반적인 물 속의 무기질, 미립자, 박테리아, 미생물, 용존 가스 등을 제거한 고도로 정제된 물을 말한다. 물속에 포함된 불순물(전해질·미생물·생균·미립자 등)과 이온 등을 제거해 물 분자만 존재하는, 이론적인 순수에 가장 근접한 물이다. 반도체 공정에서 수많은 공정 전후에 진행되는 세정 작업에 사용된다. 웨이퍼 식각후 세척, 연마, 절단 등의 공정에 필수적이다.
'반도체 초순수 생산공정 국산화 기술개발'은 일본 정부의 반도체 분야 수출규제 대응을 위해 환경부에서 지원하는 상용화 연구개발 사업이다. 5개 과제에 총 480억원을 투입, 초순수 생산공정 국산화를 통해 해외 기술 의존을 벗어나고 국내 산업을 활성화하기 위해 추진된다.
초순수 시장(설계, 시공, 운영 등 모두 포함)은 2018년 기준 국내 시장은 약 1조원, 세계시장은 19조3000억원이며, 2024년에는 각각 1조4000억원, 23조1000억원 규모까지 성장할 것으로 예상된다.
국산화 기술개발과 실증화가 완료되면 국내시장은 물론, 관련 물산업의 해외시장 진출까지 확대될 것으로 기대된다.
이번 회의는 한국환경산업기술원, 기술수요처, 한국수자원공사의 산업계 기술개발지원, 실증설비(플랜트) 구축 방안, 국산화 및 활성화 방안 소개와 산·학·연·관 등 관계자들의 심층토론이 진행된다.
연구개발사업을 관리하는 한국환경산업기술원은 2019년 9월 이후 일본의 반도체 분야 수출규제에 대응하기 위해 초순수 생산공정 국산화 기술개발사업 이행안(로드맵)과 과제별 지원계획을 제시한다.
최근 실증설비(플랜트) 부지 제공이 결정된 해당업체는 기술 수요처로서, 실증설비 구축을 위해 부지 및 건축물 제공사항과 기술 국산화 이후 실제 플랜트에 적용할 계획을 비롯해 정부 및 관계기관에 대한 협조 요청사항을 전달할 예정이다.
연구개발 수행을 총괄하는 한국수자원공사는 초순수 제품 국산화 외에도 설계, 시공 및 운영이 통합된 국산화 기술개발의 필요성과 기술수요처 협업을 통한 초순수 산업 활성화에 대해 발표한다.
아울러 산업계를 대표해 씨제이케이얼라이언스(주)(순수처리용 설비 제작업체)는 국내 제품 개발 이후 사업화가 어려운 현 상황에 대해 진단하고, 성능검증 체계 마련 등 국산화 및 사업화를 위한 향후 과제에 대해 제언한다.
송용권 환경부 물산업협력과장은 “반도체 초순수 기술개발을 통해 해외 기술·제품에 대한 의존을 벗어남과 동시에 관련 물산업 해외시장 진출의 교두보를 마련할 계획”이라면서 “반도체 초순수 생산기술 국산화 및 상용화의 성공을 위해 연구개발 수행기관, 관련 산업계 등과 지속적으로 긴밀한 협의를 이어 나가겠다”라고 밝혔다.